[实用新型]一种太阳能电池背钝化监测装置

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池背钝化监测装置，涉及太阳能生产制造领域，包括少子寿命仪和椭偏仪，还包括传输组件、测试台和升降组件，少子寿命仪和椭偏仪设于传输组件上方且连接有自动控制系统，升降组件固定于测试台的底部，测试台设于传输组件下方，传输组件穿过测试台，当升降组件处于初始工位时，传输组件顶部与测试台顶部齐平，当升降组件处于工作工位时，传输组件顶部低于测试台顶部。该装置在氧化铝、氮化硅薄膜沉积后，实现在线测量背钝化膜的厚度、折射率，以及钝化后的硅片少子寿命的目的。

主权项

1.一种太阳能电池背钝化监测装置，包括少子寿命仪（1）和椭偏仪（2），其特征在于：还包括传输组件、测试台（4）和升降组件（5），所述少子寿命仪（1）和所述椭偏仪（2）设于所述传输组件上方且连接有自动控制系统，所述升降组件（5）固定于所述测试台（4）的底部，所述测试台（4）设于所述传输组件下方，所述传输组件穿过所述测试台（4），当所述升降组件（5）处于初始工位时，所述传输组件顶部与所述测试台（4）顶部齐平，当所述升降组件（5）处于工作工位时，所述传输组件顶部低于所述测试台（4）顶部。