[实用新型]一种太阳能电池背钝化监测装置有效

专利信息
申请号: 201721346398.X 申请日: 2017-10-17
公开(公告)号: CN207529957U 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 吴泓;冯婧婧;何志富;朱波兴;何晨旭;李景龙 申请(专利权)人: 浙江昱辉阳光能源江苏有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/66
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 任立
地址: 214203 江苏省无锡市江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 传输组件 测试台 升降组件 钝化 太阳能电池 监测装置 少子寿命 椭偏仪 硅片少子寿命 自动控制系统 本实用新型 氮化硅薄膜 工作工位 在线测量 钝化膜 氧化铝 折射率 工位 齐平 沉积 太阳能 穿过 制造 生产
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池背钝化监测装置,包括少子寿命仪(1)和椭偏仪(2),其特征在于:还包括传输组件、测试台(4)和升降组件(5),所述少子寿命仪(1)和所述椭偏仪(2)设于所述传输组件上方且连接有自动控制系统,所述升降组件(5)固定于所述测试台(4)的底部,所述测试台(4)设于所述传输组件下方,所述传输组件穿过所述测试台(4),当所述升降组件(5)处于初始工位时,所述传输组件顶部与所述测试台(4)顶部齐平,当所述升降组件(5)处于工作工位时,所述传输组件顶部低于所述测试台(4)顶部。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池背钝化监测装置,其特征在于:所述少子寿命仪(1)设于所述测试台(4)的正上方,所述椭偏仪(2)设于所述测试台(4)的斜上方。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池背钝化监测装置,其特征在于:所述测试台(4)表面设有两条平行的传输槽(401),所述传输组件包括两根平行设置且同步运动的传输带(3),所述传输带(3)分别穿过所述传输槽(401),所述传输槽(401)的深度大于所述传输带(3)的厚度。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池背钝化监测装置,其特征在于:所述升降组件(5)包括若干驱动气缸,所述驱动气缸对称设于所述测试台(4)底部且位于所述传输带(3)两侧。

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