[实用新型]固定走线组件、静电卡盘装置和工艺腔室有效
| 申请号： | 201721170149.X | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN207338339U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 王雅菊 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种固定走线组件、一种静电卡盘装置和一种工艺腔室。所述固定走线组件包括走线支架和走线夹单元，所述走线支架包括内壁和外壁，所述走线夹单元与所述外壁固定连接，且所述走线夹单元和所述外壁的至少一者上设置有用于收容走线的多个走线槽。本实用新型的固定走线组件，能够使得多根走线的绕线路径以及走线间隔均是一定的，从而可以使得走线方式固定化，提高应用该结构的固定走线组件的产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 组件 静电 卡盘 装置 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种固定走线组件，其特征在于，所述固定走线组件包括走线支架和走线夹单元，所述走线支架包括内壁和外壁，所述走线夹单元与所述外壁固定连接，且所述走线夹单元和所述外壁的至少一者上设置有用于收容走线的多个走线槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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