[实用新型]固定走线组件、静电卡盘装置和工艺腔室

权利要求书

1.一种固定走线组件，其特征在于，所述固定走线组件包括走线支架和走线夹单元，所述走线支架包括内壁和外壁，所述走线夹单元与所述外壁固定连接，且所述走线夹单元和所述外壁的至少一者上设置有用于收容走线的多个走线槽。

2.根据权利要求1所述的固定走线组件，其特征在于，所述走线夹单元为多个，每个所述走线夹单元包括相对设置的第一走线夹和第二走线夹，所述第一走线夹与所述外壁固定连接，所述第二走线夹与所述第一走线夹固定连接；所述第一走线夹上设置有多个第一容纳槽，所述第二走线夹上设置有多个第二容纳槽，每个所述第一容纳槽对应一个所述第二容纳槽，且所述第一容纳槽和所述第二容纳槽共同形成所述走线槽。

3.根据权利要求2所述的固定走线组件，其特征在于，所述固定走线组件还包括多个第一紧固件和多个第二紧固件；

所述第一走线夹包括位于所述第一走线夹端部的两个第一主安装部以及位于两个所述第一主安装部之间的第一副安装部，所述第一主安装部朝向所述第二走线夹的一侧设置有第一主安装孔，所述第一副安装部朝向所述第二走线夹的一侧设置有第一副安装孔，所述第一主安装部和所述第一副安装部之间设置有所述第一容纳槽；

所述第二走线夹包括位于所述第二走线夹端部的两个第二主安装部以及位于两个所述第二主安装部之间的第二副安装部，所述第二主安装部朝向所述第一走线夹的一侧设置有第二主安装孔，所述第二副安装部朝向所述第一走线夹的一侧设置有第二副安装孔，所述第二主安装部和所述第二副安装部之间设置有所述第二容纳槽；

所述第一主安装孔与所述第二主安装孔对应设置，所述第一紧固件设置在所述第一主安装孔和所述第二主安装孔内，以固定所述第一走线夹和所述第二走线夹；

所述第一副安装孔与所述第二副安装孔对应设置，所述第二紧固件设置在所述第一副安装孔和所述第二副安装孔内，以将所述第一走线夹固定设置在所述走线支架上。

4.根据权利要求1所述的固定走线组件，其特征在于，所述走线支架上还设置有贯穿所述走线支架的多个导向卡槽，以使得所述走线能够穿过所述导向卡槽至所述走线槽内。

5.根据权利要求4所述的固定走线组件，其特征在于，所述走线支架还包括顶壁和底壁，所述顶壁和所述底壁分别与所述内壁和所述外壁连接，所述导向卡槽自所述底壁处向所述顶壁方向凹陷，且所述导向卡槽贯穿所述外壁和所述内壁。

6.根据权利要求5所述的固定走线组件，其特征在于，所述导向卡槽的截面呈C型。

7.根据权利要求5所述的固定走线组件，其特征在于，所述走线支架上还设置有至少一个固定部，所述固定部包括第一部分以及自所述第一部分弯折延伸的第二部分，所述第一部分与所述底壁固定连接，所述第二部分上设置有贯穿所述第二部分的固定孔。

8.根据权利要求1至7任意一项所述的固定走线组件，其特征在于，所述走线支架呈环状结构，且所述环状结构具有缺口。

9.根据权利要求1所述的固定走线组件，其特征在于，所述走线夹单元为一个，且沿所述走线支架设置，所述走线槽连续设置在所述走线支架的所述外壁上，所述走线被固定在所述走线夹单元和所述外壁之间。

10.一种静电卡盘装置，所述静电卡盘装置包括静电卡盘、接口盘、悬臂、多根走线以及固定走线组件，其特征在于，所述接口盘与所述静电卡盘固定连接，所述接口盘上设置有多个接线端口，所述悬臂与所述接口盘固定连接，所述固定走线组件包括权利要求1至9任意一项所述的固定走线组件，所述固定走线组件与所述接口盘固定连接，多根所述走线绕设在所述固定走线组件的走线槽内，且多根所述走线的一端与所述接线端口电连接，多根所述走线的另一端位于所述悬臂内，且与所述悬臂具有预设距离。

11.一种工艺腔室，所述工艺腔室包括静电卡盘装置，其特征在于，所述静电卡盘装置包括权利要求10所述的静电卡盘装置。