[实用新型]一种新型的单晶硅预加料装置有效
申请号: | 201721102897.4 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN207362368U | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 吴桂松;王辉;孙学军;王鹏;张经行;刘建军;党文全;许生发 | 申请(专利权)人: | 青海鑫诺光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 810000 青海省西宁市*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种新型的单晶硅预加料装置,包括:加料筒、活塞、操作柄和端盖,所述加料筒内设有内筒,所述内筒与加料筒形成用于放置原料的环状区域,所述内筒下部的筒壁设有通孔,所述活塞设置于内筒中,并且与内筒的内壁面接触,所述操作柄通过连接杆与所述活塞相连,所述端盖设置在加料筒的下端。本实用新型所述的一种新型的单晶硅预加料装置结构简单,易于实现,可以将多次要投放的料提前分好,在需要投放时直接投放即可,使一炉中可以装更多的料,提高石英坩埚的利用率,同时节约了时间,提高了产能,节能降耗,降低成本。 | ||
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【主权项】:
1.一种新型的单晶硅预加料装置,其特征在于,包括:加料筒(3),所述加料筒(3)内设有内筒(7),所述内筒(7)与加料筒(3)形成用于放置原料的环状区域,所述内筒(7)下部的筒壁设有通孔(4),活塞(2),设置于内筒(7)中,并且与内筒(7)的内壁面接触,操作柄(1),通过连接杆与所述活塞(2)相连,端盖(5),设置在加料筒(3)的下端。
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