[实用新型]具有回流阀的基板湿制程处理装置

摘要

本实用新型提供一种具有回流阀的基板湿制程处理装置，包括机台、连杆组、回流阀及驱动模组。机台包含加工槽及连通加工槽的回流槽，加工槽具有容置空间及位在容置空间中的至少一回流孔，加工槽是通过回流孔而连通回流槽；连杆组设置在机台上并位于加工槽的一侧边；回流阀连接连杆组并对应设置在回流孔上，回流阀受连杆组带动而能够相对回流孔作枢转；驱动模组安装在机台上并位在加工槽的一侧边，驱动模组带动连杆组及回流阀，并使回流阀相对回流孔作启闭。

主权项

一种具有回流阀的基板湿制程处理装置，其特征在于，包括:一机台，包含一加工槽及连通该加工槽的一回流槽，该加工槽具有一容置空间及位在该容置空间中的至少一回流孔，该回流槽是通过该回流孔而连通该加工槽；一连杆组，设置在该机台上并位于该加工槽的一侧边；至少一回流阀，连接该连杆组并对应设置在该回流孔上，该回流阀受该连杆组带动而能够相对该回流孔作枢转；以及一驱动模组，安装在该机台上并位在该加工槽的一侧边，该驱动模组带动该连杆组及该回流阀，并使该回流阀相对该回流孔作启闭。