[实用新型]高对称性能双向瞬态电压抑制器

摘要

本实用新型公开了一种高对称性能双向瞬态电压抑制器，通过调整纵向NPN结构中的上下两部分N型掺杂浓度梯度和结深，尽可能匹配上下两个PN结物理特性，从而获得两端各个性能参数的高度对称和最优。基于该实用新型制作的双向瞬态电压抑制器的两端性能指标相差在5％以内，几乎可以认为完全对称，而且彼此之间没有性能损失。

主权项

一种高对称性能双向瞬态电压抑制器，其特征在于，所述瞬态电压抑制器包括：N型衬底、生长于N型掺杂衬底上的补偿外延层和P型基区外延层、N型掺杂区、上电极、下电极、介质层、深槽隔离区。