[实用新型]探针卡及半导体测试装置有效
| 申请号： | 201720890628.2 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN206920483U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 彭群 | 申请（专利权）人： | 上海捷策创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海）自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种探针卡及半导体测试装置，包括基底，在所述基底的中心设置矩形测试样品承载区域，所述矩形测试样品承载区域还包括夹具，所述夹具用于夹住测试样品；在所述矩形测试样品承载区域四个边的外侧设置矩形探针焊盘区域；所述矩形探针焊盘区域包括阵列排列的第一焊盘，所述第一焊盘用于与探针的第一端电连接，所述探针的第二端与所述测试样品电连接。本实用新型实施例提供了一种探针卡及半导体测试装置，通过合理规划探针卡上的与探针连接的焊盘区域，有益于对待测样品的电学性能的测试，且大幅降低了制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 半导体 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡，其特征在于，包括：基底，在所述基底的中心设置矩形测试样品承载区域，所述矩形测试样品承载区域还包括夹具，所述夹具用于夹住测试样品；在所述矩形测试样品承载区域四个边的外侧设置矩形探针焊盘区域；所述矩形探针焊盘区域包括阵列排列的第一焊盘，所述第一焊盘用于与探针的第一端电连接，所述探针的第二端与所述测试样品电连接。
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