[实用新型]一种传输腔的激光传感器安装装置

摘要

本实用新型公开了一种传输腔的激光传感器安装装置，其中，包括传感器固定板和底端连接支架，所述传感器固定板通过所述底端连接支架和传输腔的观察窗固连，所述传感器固定板上加工有上下方向的传感器位置调节槽，所述底端连接支架上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽。所述上下方向的传感器位置调节槽是加工在所述传感器固定板立板上的弧形滑槽。传感器安装在所述立板上，其中一个安装点位于所述弧形滑槽的弧心处，另一个安装点位于所述弧形滑槽中。本实用新型，结构简单、成本低廉、经久耐用，传感器调节方便、操作容易、可调范围大，保证了晶片检测的准确性。

主权项

一种传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，包括传感器固定板和底端连接支架，所述传感器固定板通过所述底端连接支架与传输腔的观察窗相连接，所述传感器固定板上加工有传感器位置调节槽，所述底端连接支架上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽。