[实用新型]一种激光诱导气相沉积系统的材料升华反应装置

摘要

一种激光诱导气相沉积系统的材料升华反应装置，包括腔体、温度传感器、加热保温装置和气压检测阀，腔体内设置有第一气体缓存室、第一过滤网、第二过滤网和第二气体缓存室。由于改变了腔体的放置方式和进气口/出气口的设置，使得气流不再由下而上输入，改为水平流动；由于增加过滤网、第一气体缓存室和第二气体缓存室，控制了输出气体的洁净度和气体流速的稳定性；由于设置匀气栏栅扩大气体流表面积和利用气压检测阀检测和第二气体缓存室的气压，保证了输出气体的浓度稳定性。

主权项

一种激光诱导气相沉积系统的材料升华反应装置,包括腔体，腔体内存储有待升华的材料，其特征在于还包括：温度传感器、加热保温装置和气压检测阀，所述腔体内设置有第一气体缓存室、第一过滤网、第二过滤网和第二气体缓存室；所述第一气体缓存室上方、所述腔体的顶盖处设置有进气口，所述第二气体缓存室上方、所述腔体的顶盖处分别有出气口；待升华的材料存储在第一过滤网与第二过滤网之间的反应区域，该反应区域内设置有至少两个竖直放置的匀气栏栅；惰性气体由所述进气口进入所述腔体，与所述待升华的材料发生升华反应，当所述出气口开启时，升华后的气态状材料与惰性气体从所述出气口离开所述腔体，进入后级的激光反应腔；所述气压检测阀用于检测第二气体缓存室内气压，并在所述第二气体缓存室内气压达到预设的气压值时，控制所述出气口开启；所述温度传感器用于实时检测所述腔体的温度，所述加热保温装置用于根据所述温度传感器检测的腔体温度，对所述腔体进行加热，控制所述腔体的温度保持在预设的温度，使得腔体内的待升华的材料温度保持在可升华的温度值。