[实用新型]用于晶圆切割的抗静电系统

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆切割的抗静电系统，该系统包括喷雾装置，喷雾装置连接抗静电装置，抗静电装置包括进气端、出水端以及过滤箱，过滤箱均与进气端、出水端连接，进气端连接进气管，进气管连接调压阀、气压表，过滤箱内靠近进气端设置有薄膜，过滤箱的侧壁上设有第一开口、第二开口，薄膜、第一开口、第二开口的位置依次降低，第二开口连接入水管，第一开口连接第一排水管，第一排水管上设有电导率探头，采用以上结构，在过滤箱内将二氧化碳气体溶在水中，产生碳酸根离子与氢离子，使得静电阻值降低至适当值，最后通过喷雾装置将混合后的水以水雾的状态喷出，保证晶圆的质量。

主权项

用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于，包括：切割机，所述切割机内设置有喷雾装置，所述喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，所述第一喷嘴包括喷嘴固定块，所述喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，所述喷嘴固定块内设置有喷水套筒，所述喷水套筒均与所述出水口、第一出气口连通，所述喷嘴固定块连接喷嘴固定套，所述喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，所述喷嘴固定套的第二端内固定有连接套，所述连接套连接所述喷水套筒，所述喷水套筒、所述连接套与所述喷嘴头相互连通，所述第一喷嘴的第一端设有喷雾口；所述第一出气口连接第一出气管，所述出水口连接出水管，所述第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，所述第二喷嘴远离所述第二出气口的一侧设有喷气口，所述喷气口与所述第二出气口连通，所述第二出气口连接第二出气管，所述第一出气管、所述第二出气管与所述出水管均与气液分离管连接；抗静电装置，所述抗静电装置连接所述喷雾装置，所述抗静电装置包括进气端、出水端以及过滤箱，所述过滤箱均与所述进气端、所述出水端连接，所述进气端包括进气管，所述进气管连接调压阀、气压表，所述过滤箱内靠近所述进气端设置有薄膜，所述过滤箱的侧壁上设有第一开口以及第二开口，所述薄膜、所述第一开口、所述第二开口的设置位置依次降低，所述出水端包括入水管和第一排水管，所述第二开口连接所述入水管，所述第一开口连接所述第一排水管，所述第一排水管上设有电导率探头。