[实用新型]用于晶圆切割的抗静电系统

权利要求书

1.用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于，包括：

切割机，所述切割机内设置有喷雾装置，所述喷雾装置包括第一喷嘴与第二喷嘴，所述第一喷嘴包括喷嘴固定块，所述喷嘴固定块的侧壁上设有出水口与第一出气口，所述喷嘴固定块内设置有喷水套筒，所述喷水套筒均与所述出水口、第一出气口连通，所述喷嘴固定块连接喷嘴固定套，所述喷嘴固定套的第一端内固定有喷嘴头，所述喷嘴固定套的第二端内固定有连接套，所述连接套连接所述喷水套筒，所述喷水套筒、所述连接套与所述喷嘴头相互连通，所述第一喷嘴的第一端设有喷雾口；所述第一出气口连接第一出气管，所述出水口连接出水管，所述第二喷嘴的侧壁上设置有第二出气口，所述第二喷嘴远离所述第二出气口的一侧设有喷气口，所述喷气口与所述第二出气口连通，所述第二出气口连接第二出气管，所述第一出气管、所述第二出气管与所述出水管均与气液分离管连接；

抗静电装置，所述抗静电装置连接所述喷雾装置，所述抗静电装置包括进气端、出水端以及过滤箱，所述过滤箱均与所述进气端、所述出水端连接，所述进气端包括进气管，所述进气管连接调压阀、气压表，所述过滤箱内靠近所述进气端设置有薄膜，所述过滤箱的侧壁上设有第一开口以及第二开口，所述薄膜、所述第一开口、所述第二开口的设置位置依次降低，所述出水端包括入水管和第一排水管，所述第二开口连接所述入水管，所述第一开口连接所述第一排水管，所述第一排水管上设有电导率探头。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述过滤箱的底部设置有第三开口，所述第三开口的设置位置低于所述第二开口的设置位置，所述第三开口连接第二排水管。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述气液分离管朝向所述第一喷嘴的一端设有进水口，所述进水口连接所述出水管，所述气液分离管上还设有第一进气口以及第二进气口，所述第一进气口连接所述第一出气管，所述第二进气口连接所述第二出气管，所述气液分离管内连接有进水管、第一进气管以及第二进气管，所述进水管连接所述进水口，所述第一进气管连接所述第一进气口，所述第二进气管连接第二进气口，所述进水管连接所述抗静电装置。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述第一喷嘴、第二喷嘴以及气液分离管均固定在固定板上，所述固定板弯曲设置。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆切割的抗静电系统，其特征在于：

所述抗静电装置还包括控制器以及与所述控制器连接的电池组。