[实用新型]一种感测膜片以及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201720472305.1 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN206905882U | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凱;周宗燐;蔡孟錦;王宇 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;H04R1/08;H04R19/04;H04R7/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种感测膜片及MEMS麦克风，包括位于中部区域的敏感部，以及位于敏感部外侧边缘且与所述敏感部一体成型的固定部；还包括从固定部延伸至敏感部边缘位置且非封闭的缝隙部，所述缝隙部在感测膜片上围成了根部位于固定部上、自由端延伸至敏感部上边缘位置的保持部；所述敏感部被配置为在受到冲击时相对于保持部发生位移，以在保持部与敏感部之间形成气流流通通道。本实用新型的感测膜片，不同于传统的泄压阀结构，对敏感部的振动特性影响较小，敏感部的动态稳定性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 以及 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种感测膜片，其特征在于：包括位于中部区域的敏感部(2)，以及位于敏感部(2)外侧边缘且与所述敏感部(2)一体成型的固定部(5)；还包括从固定部(5)延伸至敏感部(2)边缘位置且非封闭的缝隙部(4)，所述缝隙部(4)在感测膜片上围成了根部位于固定部(5)上、自由端延伸至敏感部(2)上边缘位置的保持部(3)；所述敏感部(2)被配置为在受到冲击时相对于保持部(3)发生位移，以在保持部(3)与敏感部(2)之间形成气流流通通道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于歌尔股份有限公司，未经歌尔股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720472305.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
