[实用新型]一种感测膜片以及MEMS麦克风

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种感测膜片，尤其涉及一种适用于发声的振膜；本实用新型还涉及一种MEMS麦克风。

背景技术

MEMS感测组件现已应用普及在消费性电子产品中，如何加快产品生产工艺是目前零组件供货商关注的焦点，例如手机生产组装过程中所产生的灰尘碎削通过气枪直接清理，是目前成本最低的方案。因此对MEMS传感器必须提出大声压或大气压的抗吹气改善方案，避免在组装过程，因气枪清理导致麦克风发生破裂失效。

例如在麦克风领域，目前的改善方案为在MEMS麦克风的振膜上设置泄压孔或者泄压阀结构。但是泄压孔的结构会减少振膜的有效面积；在振膜上设置的泄压阀结构会直接影响振膜的振动特性，尤其影响振膜的低频特性，而且振膜的动态稳定性比较差。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种感测膜片的新技术方案。

根据本实用新型的第一方面，提供了一种感测膜片，包括位于中部区域的敏感部，以及位于敏感部外侧边缘且与所述敏感部一体成型的固定部；还包括从固定部延伸至敏感部边缘位置且非封闭的缝隙部，所述缝隙部在感测膜片上围成了根部位于固定部上、自由端延伸至敏感部上边缘位置的保持部；所述敏感部被配置为在受到冲击时相对于保持部发生位移，以在保持部与敏感部之间形成气流流通通道。

可选地，所述保持部至少设置有一个。

可选地，所述保持部至少设置有三个，均匀分布在敏感部边缘的周向上。

可选地，所述缝隙部包括从固定部延伸至敏感部上的第一段，以及从第一段端头迂回延伸至固定部的第二段。

可选地，所述第一段、第二段沿其中心轴线对称。

可选地，所述缝隙部整体呈U形、方形、半圆形或半椭圆形。

可选地，在所述第一段、第二段的自由端头设置有偏离自身延伸方向的延伸部。

可选地，所述缝隙部在敏感部上延伸的面积与敏感部面积的比例为5％-50％。

可选地，所述缝隙部通过腐蚀或者刻蚀的方式形成。

根据本实用新型的另一方面，还提供了一种MEMS麦克风，包括背极以及上述的感测膜片。

本实用新型的感测膜片，不同于传统的泄压阀结构，泄压的气流流通通道通过敏感部自身受压变形量而产生，而且可实时依据敏感部的内外压力差来调整气流流通通道通的尺寸(通过自身受压的形变量实时调整泄压开口速率)，提供泄压路径以此保护感测膜片。本实用新型的感测膜片，由于气流流通通道位于敏感部的边缘位置，而且通过敏感部自身的位移形成，这就使得气流流通通道对敏感部的振动特性影响较小，敏感部的动态稳定性更好。

本实用新型的发明人发现，在现有技术中，在振膜上设置的泄压阀结构会直接影响振膜的振动特性，尤其影响振膜的低频特性，而且振膜的动态稳定性比较差。因此，本实用新型所要实现的技术任务或者所要解决的技术问题是本领域技术人员从未想到的或者没有预期到的，故本实用新型是一种新的技术方案。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本实用新型的实施例，并且连同其说明一起用于解释本实用新型的原理。

图1是本实用新型MEMS麦克风的结构示意图。

图2是本实用新型感测膜片的俯视图。

图3是图2中缝隙部的结构示意图。

图4是图1中感测膜片在受到冲击时发生位移的示意图。

图5是本实用新型缝隙部另一实施方式的结构示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。