[实用新型]一种硅片运输装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片运输装置，包括车架，车架沿着竖直方向间隔设置有多层用于放置装硅片的花篮的底板，底板的一组相对设置的侧边分别设置有竖直向上延伸的边缘挡板框，底板的中部设置有竖直向上延伸的中间挡板框，中间挡板框与每一边缘挡板框之间均形成卡放装硅片的花篮的空间，每个空间对应的所述中间挡板框和所述边缘挡板框分别设置有配合花篮的P面结构的P面挡板和配合花篮的N面结构的N面挡板，位于边缘挡板框的P面挡板和/或N面挡板的一端均与边缘挡板框为可活动连接。该硅片运输装置，能够很好地区别硅片的P、N面，进而避免在多道工序之间转换取放时使P、N面颠倒，降低硅片报废率。

主权项

一种硅片运输装置，包括车架，其特征在于，所述车架沿着竖直方向间隔设置有多层用于放置装硅片的花篮的底板，所述底板的一组相对设置的侧边分别设置有竖直向上延伸的边缘挡板框，所述底板的中部设置有竖直向上延伸的中间挡板框，所述中间挡板框与每一所述边缘挡板框之间均形成卡放花篮的空间，每个所述空间对应的所述中间挡板框的一侧面和所述边缘挡板框分别设置有配合所述花篮的P面结构的P面挡板和配合所述花篮的N面结构的N面挡板，位于所述边缘挡板框的所述P面挡板和/或所述N面挡板均与所述边缘挡板框为可活动连接。