[实用新型]一种MOCVD设备用石墨盘

摘要

本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种MOCVD设备用石墨盘，其包括一盘体，其特征在于：所述盘体上表面设置有环形档板，所述环形档板的外环直径大于或者等于所述盘体的直径，所述档板的高度由内侧至外侧逐渐升高，所述盘体和/或所述档板上表面设置有若干个放置晶圆衬底用的晶圆凹槽。本实用新型通过在盘体上表面设置一环形档板来阻挡在晶圆过程中，盘体边缘晶圆凹槽处气流被抽走过快的现象，进而来改善边缘晶圆凹槽处晶圆的长晶速率。档板的上表面设置成倾斜面，并将环形档板的内侧壁延伸至晶圆凹槽处，一方面是改善各圈晶圆的长晶速率，另一方面也可以防止晶圆凹槽内晶圆的飞片现象。

主权项

一种MOCVD设备用石墨盘，包括一盘体，其特征在于：所述盘体上表面设置有环形档板，所述环形档板的外环直径大于或者等于所述盘体的直径，所述档板的高度由内侧至外侧逐渐升高，所述盘体和/或所述档板上表面设置有若干个放置晶圆衬底用的晶圆凹槽。