[实用新型]一种卧式单门真空蒸发镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，包括主机架和滑动笼架，所述主机架上方安装有罗茨泵，且主机架通过抽气管与V槽真空腔体相连接，所述V槽真空腔体内固定有夹转架，所述V槽真空腔体下方安装有底架，所述底架上设置有膜材容器，且膜材容器底部设有膜材加热器，所述主机架左侧设置有副机架，且副机架下方分别设置有卷绕室和镀膜室，所述副机架通过排气管道与真空室相连接，且真空室上安装有真空机组，所述滑动笼架下方设有平移小车，所述滑动笼架正中间固定有滑动空心轴套，且滑动空心轴套上设有转动平台。本实用新型把真空室改进设计成异样带下V型槽一体式，方便多组蒸发源布置和膜料添加，满足镀膜功能需要。

主权项

一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，包括主机架（2）和滑动笼架（21），其特征在于：所述主机架（2）上方安装有罗茨泵（3），且主机架（2）通过抽气管（5）与V槽真空腔体（6）相连接，所述V槽真空腔体（6）内固定有夹转架（7），且夹转架（7）通过转动支架（16）与壳体（14）固定相连，所述V槽真空腔体（6）下方安装有底架（17），所述底架（17）上设置有膜材容器（18），且膜材容器（18）底部设有膜材加热器（13），所述主机架（2）左侧设置有副机架（1），且副机架（1）下方分别设置有卷绕室（8）和镀膜室（9），所述副机架（1）通过排气管道（10）与真空室（11）相连接，且真空室（11）上安装有真空机组（12），所述滑动笼架（21）下方设有平移小车（20），所述滑动笼架（21）正中间固定有滑动空心轴套（19），且滑动空心轴套（19）上设有转动平台（22）。