[实用新型]一种卧式单门真空蒸发镀膜设备

权利要求书

1.一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，包括主机架（2）和滑动笼架（21），其特征在于：所述主机架（2）上方安装有罗茨泵（3），且主机架（2）通过抽气管（5）与V槽真空腔体（6）相连接，所述V槽真空腔体（6）内固定有夹转架（7），且夹转架（7）通过转动支架（16）与壳体（14）固定相连，所述V槽真空腔体（6）下方安装有底架（17），所述底架（17）上设置有膜材容器（18），且膜材容器（18）底部设有膜材加热器（13），所述主机架（2）左侧设置有副机架（1），且副机架（1）下方分别设置有卷绕室（8）和镀膜室（9），所述副机架（1）通过排气管道（10）与真空室（11）相连接，且真空室（11）上安装有真空机组（12），所述滑动笼架（21）下方设有平移小车（20），所述滑动笼架（21）正中间固定有滑动空心轴套（19），且滑动空心轴套（19）上设有转动平台（22）。

2.根据权利要求1所述的一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述抽气管（5）内部设置有控制阀门（4），且抽气管（5）外侧包裹有轴套。

3.根据权利要求1所述的一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述壳体（14）镶嵌在V槽真空腔体（6）表面，且壳体（14）上设有开关阀。

4.根据权利要求1所述的一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述V槽真空腔体（6）右侧设置有真空阀（15）。

5.根据权利要求1所述的一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述膜材容器（18）位水冷式坩埚，且膜材容器（18）呈扁平状。

6.根据权利要求1所述的一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述真空室（11）左侧设有接口与排气管道（10）相通。