[实用新型]一种卧式单门真空蒸发镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种卧式单门真空蒸发镀膜设备。

背景技术

真空蒸发镀膜技术是 PVD（物理气相沉积）技术中发展最早，应用领域很广的镀膜技术。其工作原理是将膜材置于真空镀膜设备的蒸发源（用来加热膜材使之气化蒸发的装置）中，在高真空条件下通过蒸发源加热膜材使之蒸发形成蒸气，蒸气到达被镀的基材表面后由于基材温度较低，蒸气便凝结在基材表面形成薄膜。目前广泛应用的是箱式蒸发镀膜机，这种箱式蒸发镀膜机主要采用电阻加热蒸发源和电子束加热蒸发源（由电子枪和坩埚组成）两种蒸发源。这种镀膜机主要包括真空室、抽气系统、蒸发源、膜厚测量系统、离子源、加热器等。传统的真空蒸发镀膜设备的真空室极其不方便多组蒸发源布置和膜料添加，不能满足镀膜功能需要，同时增加了室内抽空负载，影响了作业效率，因此市场急需一种新型的卧式单门真空蒸发镀膜设备。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，包括主机架和滑动笼架，所述主机架上方安装有罗茨泵，且主机架通过抽气管与V槽真空腔体相连接，所述V槽真空腔体内固定有夹转架，且夹转架通过转动支架与壳体固定相连，所述V槽真空腔体下方安装有底架，所述底架上设置有膜材容器，且膜材容器底部设有膜材加热器，所述主机架左侧设置有副机架，且副机架下方分别设置有卷绕室和镀膜室，所述副机架通过排气管道与真空室相连接，且真空室上安装有真空机组，所述滑动笼架下方设有平移小车，所述滑动笼架正中间固定有滑动空心轴套，且滑动空心轴套上设有转动平台。

优选的，所述抽气管内部设置有控制阀门，且抽气管外侧包裹有轴套。

优选的，所述壳体镶嵌在V槽真空腔体表面，且壳体上设有开关阀。

优选的，所述V槽真空腔体右侧设置有真空阀。

优选的，所述膜材容器位水冷式坩埚，且膜材容器呈扁平状。

优选的，所述真空室左侧设有接口与排气管道相通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型重点是把真空室改进设计成异样带下V型槽一体式，方便多组蒸发源布置和膜料添加，满足镀膜功能需要；同时在该设备上安装有新款精简型工件笼架装夹，节省了室内抽空负载，缩短了每炉工作周期；该设备除了工件架和膜料的装卸采用人工外，其他操作由装置自动完成，大大提高了镀膜效率，保证了产品膜层的一致性，自动化程度较高，操作简单便捷，便于大规模进行推广和使用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型滑动笼架的结构示意图。

图中：1-副机架；2-主机架；3-罗茨泵；4-控制阀门；5-抽气管；6-V槽真空腔体；7-夹转架；8-卷绕室；9-镀膜室；10-排气管道；11-真空室；12-真空机组；13-膜材加热器；14-壳体；15-真空阀；16-转动支架；17-底架；18-膜材容器；19-滑动空心轴套；20-平移小车；21-滑动笼架；22-转动平台。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种卧式单门真空蒸发镀膜设备，包括主机架2和滑动笼架21，主机架2上方安装有罗茨泵3，且主机架2通过抽气管5与V槽真空腔体6相连接，V槽真空腔体6内固定有夹转架7，且夹转架7通过转动支架16与壳体14固定相连，V槽真空腔体6下方安装有底架17，底架17上设置有膜材容器18，且膜材容器18底部设有膜材加热器13，主机架2左侧设置有副机架1，且副机架1下方分别设置有卷绕室8和镀膜室9，副机架1通过排气管道10与真空室11相连接，且真空室11上安装有真空机组12，滑动笼架21下方设有平移小车20，滑动笼架21正中间固定有滑动空心轴套19，且滑动空心轴套19上设有转动平台22，抽气管5内部设置有控制阀门4，且抽气管5外侧包裹有轴套，壳体14镶嵌在V槽真空腔体6表面，且壳体14上设有开关阀，V槽真空腔体6右侧设置有真空阀15，膜材容器18位水冷式坩埚，且膜材容器18呈扁平状，真空室11左侧设有接口与排气管道10相通。