[实用新型]一种管式镀膜水平石墨舟有效
申请号: | 201720163531.1 | 申请日: | 2017-02-22 |
公开(公告)号: | CN206505899U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 何达能;方结彬;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人: | 侯莉 |
地址: | 528137 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种管式镀膜水平石墨舟,主要由绝缘棒和在竖向上排列的数层单元舟片组成,单元舟片为水平设置的片状体,相邻的单元舟片之间具有间隙,绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起,在每个单元舟片的上表面上设有若干个与硅片相适应的凹槽,在凹槽的槽底面上设有用于抽真空的细孔,细孔贯通至单元舟片的下表面上,硅片水平放置在凹槽中。本实用新型不同于传统管式镀膜石墨舟的垂直卡片模式,硅片水平放置在凹槽内,依靠重力与石墨舟紧密接触,不需要石墨舟卡点,能够避免传统卡点石墨舟造成的卡点处色差、崩边、缺口、硅片的划伤等外观不良,避免了绕镀和卡点处的膜厚不够,提升了太阳能电池的光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 水平 石墨 | ||
【主权项】:
一种管式镀膜水平石墨舟,其特征在于:它主要由绝缘棒和在竖向上排列的数层单元舟片组成,所述单元舟片为水平设置的片状体,相邻的单元舟片之间具有间隙,所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起,在每个单元舟片的上表面上设有若干个与硅片相适应的凹槽,在所述凹槽的槽底面上设有用于抽真空的细孔,所述细孔贯通至单元舟片的下表面上,所述硅片水平放置在所述凹槽内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造