[实用新型]一种管式镀膜水平石墨舟

权利要求书

1.一种管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：它主要由绝缘棒和在竖向上排列的数层单元舟片组成，所述单元舟片为水平设置的片状体，相邻的单元舟片之间具有间隙，所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起，在每个单元舟片的上表面上设有若干个与硅片相适应的凹槽，在所述凹槽的槽底面上设有用于抽真空的细孔，所述细孔贯通至单元舟片的下表面上，所述硅片水平放置在所述凹槽内。

2.根据权利要求1所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：在每个单元舟片的下表面上设有若干个与硅片相适应的凹槽，处于每个单元舟片上下表面上的凹槽相对应，所述细孔贯通相对应的凹槽，所述硅片水平放置在槽口向上的凹槽中。

3.根据权利要求1或2所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：所述凹槽的槽壁上具有环形台阶，所述硅片水平放置在环形台阶上。

4.根据权利要求3所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：所述单元舟片的数量为1～50，相邻单元舟片之间的间距为5～50mm。

5.根据权利要求4所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：所述单元舟片上的凹槽呈阵列均匀分布，阵列的形状是正方形、长方形、圆形或六边形。

6.根据权利要求5所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：每个单元舟片上的凹槽数量为5～100，相邻凹槽之间的距离为5～300mm。

7.根据权利要求6所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：所述凹槽的深度为0.5～10mm。

8.根据权利要求7所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：所述石墨舟片上的凹槽的边长L为125～200mm。

9.根据权利要求8所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：所述绝缘棒采用陶瓷棒；在最底层的单元舟片上设有支撑柱。

10.根据权利要求9所述的管式镀膜水平石墨舟，其特征在于：所述陶瓷棒竖向贯穿全部的单元舟片并在最底层和最顶层的单元舟片上通过固定部件固定。