[实用新型]硅片花篮

摘要

本实用新型公开了一种硅片花篮，包括前端板、后端板和花篮侧板，所述花篮侧板上等距离分布有若干隔片，相邻两隔片之间形成用于卡放硅片的卡槽，还包括定位杆和加强杆，所述定位杆穿过所述花篮侧板上的耳孔与所述前端板、后端板连接，所述加强杆设于所述花篮侧板底部，所述加强杆与所述前端板、后端板固定连接。本实用新型花篮通过定位杆定位，底部通过加强杆加强，花篮侧板用定位环定位后，保证了基准高度，解决了长时间使用花篮变形问题，并有效控制基准面误差＜30um；节约频繁更换花篮的时间，提高硅片的生产效率；提高了产能，从而降低了单片的生产成本。

主权项

一种硅片花篮，包括前端板(1)、后端板(2)和花篮侧板(3)，所述花篮侧板(3)上等距离分布有若干隔片(4)，相邻两隔片(4)之间形成用于卡放硅片的卡槽(5)，其特征在于：还包括定位杆(6)和加强杆(7)，所述定位杆(6)穿过所述花篮侧板(3)上的耳孔与所述前端板(1)、后端板(2)连接，所述加强杆(7)设于所述花篮侧板(3)底部，所述加强杆(7)与所述前端板(1)、后端板(2)固定连接。