[实用新型]一种MOCVD真空烤盘炉

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD真空烤盘炉，包括烤盘炉壳体、真空系统、冷却系统、气源系统、上盖、辅助加热器一、侧盖体、辅助加热器二、基盘、加热装置、隔热座、隔热层、旋转座、外锥面、内锥面、连接轴、防护层和电机；本实用新型具有结构合理简单、生产成本低，本实用新型中设置的辅助加热器一和辅助加热器二，能够有效的对基盘上面的空间进行加热，另外电热丝一和电热丝二呈扇形排列，使得整体的加热更加均匀，另外设置的外锥面和内锥面，能够有效的增加旋转座与烤盘炉壳体的接触面积，从而使空气很难进入到烤盘炉壳体内部，保证了真空烤盘炉内部的密封性，另外设置的防护层，能够有效的保证本烤盘炉的安全性，以及操作人员的安全性。

主权项

一种MOCVD真空烤盘炉，包括烤盘炉壳体(1)、真空系统(2)、冷却系统(3)、气源系统(4)和上盖(5)，所述真空系统(2)、冷却系统(3)和气源系统(4)分别与烤盘炉壳体(1)内部相连接，所述上盖(5)固定连接在烤盘炉壳体(1)顶部，其特征在于：还包括辅助加热器一(6)、侧盖体(7)、辅助加热器二(8)、基盘(9)、加热装置(10)、隔热座(11)、隔热层(12)、旋转座(13)、外锥面(14)、内锥面(15)、连接轴(16)、防护层(17)和电机(18)；所述辅助加热器一(6)位于烤盘炉壳体(1)内部顶部，所述辅助加热器一(6)固定连接在上盖(5)底面上；所述辅助加热器二(8)固定连接在烤盘炉壳体(1)内部侧壁上；所述侧盖体(7)设在烤盘炉壳体(1)侧面；所述隔热层(12)固定连接在烤盘炉壳体(1)下侧内部顶面上，所述隔热层(12)底面中央固定连接有电机(18)；所述电机(18)上侧输出轴与旋转座(13)下侧中央固定连接；所述旋转座(13)活动连接在烤盘炉壳体(1)内部下侧中央，所述旋转座(13)顶部固定连接有连接轴(16)，所述旋转座(13)下侧外部设有外锥面(14)；所述外锥面(14)与内锥面(15)相连接；所述内锥面(15)设在烤盘炉壳体(1)下侧内部顶面中央；所述基盘(9)位于烤盘炉壳体(1)内部下侧，所述基盘(9)底部中央固定连接在连接轴(16)顶部；所述加热装置(10)位于基盘(9)下侧，所述加热装置(10)底部固定连接在隔热座(11)上面；所述隔热座(11)固定连接在烤盘炉壳体(1)内部底面上；所述防护层(17)设在烤盘炉壳体(1)外部表面上。