[发明专利]流量标准器模块的制作方法在审
| 申请号： | 201711457473.4 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108663100A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 张庆燕;孟庆贤;俞昌忠;李小亮;叶启伟;徐日红 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 邹飞艳;张苗 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及微封装电路组装技术领域，公开了流量标准器模块的制作方法，包括：1，将LTCC陶瓷基板进行通断和厚膜电阻的阻值测试，并检查管壳和盖板的外形尺寸和外观；2，将LTCC陶瓷基板、管壳和盖板进行清洗，并进行烘干；3，将LTCC陶瓷基板放置于设置有环氧黑胶的管壳内，并轻轻挤压粘接，将粘接好的管壳和LTCC陶瓷基板放置于真空烘箱内进行固化；4，将裸芯片、电阻和电容用导电银胶贴装到LTCC陶瓷基板上，并利用真空烘箱进行高温固化；5，将高温固化的LTCC陶瓷基板进行等离子清洗、金丝键合和电性能测试，得到流量标准器模块。该流量标准器模块的制作方法具有体积小、可靠性高、抗冲击强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 流量标准器 基板 管壳 高温固化 基板放置 盖板 粘接 制作 等离子清洗 电性能测试 导电银胶 电路组装 厚膜电阻 金丝键合 抗冲击强 真空烘箱 阻值测试 电容 检查管 裸芯片 体积小 微封装 电阻 黑胶 烘干 环氧 贴装 通断 固化 挤压 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种流量标准器模块的制作方法，其特征在于，该流量标准器模块的制作方法包括：步骤1，将LTCC陶瓷基板进行通断和厚膜电阻的阻值测试，并检查管壳和盖板的外形尺寸和外观；步骤2，将LTCC陶瓷基板、管壳和盖板进行清洗，并进行烘干；步骤3，将LTCC陶瓷基板放置于设置有环氧黑胶的管壳内，并轻轻挤压粘接，将粘接好的管壳和LTCC陶瓷基板放置于真空烘箱内进行固化；步骤4，将裸芯片、电阻和电容用导电银胶贴装到LTCC陶瓷基板上，并利用真空烘箱进行高温固化；步骤5，将高温固化的LTCC陶瓷基板进行等离子清洗、金丝键合和电性能测试，得到流量标准器模块。
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