[发明专利]一种清洗机有效
申请号: | 201711444517.X | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108183080B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 吕超;李长城;孟庆嵩;秦江;崔岳;刘凯;赵婉云 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种清洗机,通过在清洗装置一侧设置物料输送装置和预对准装置,物料输送装置提供物料,预对准装置限定物料在预对准位置,通过第一移动机构将物料从物料输送装置上的待抓取位置移动至预对准装置上的与预对准位置,再通过第二移动装置将物料在预对准位置和清洗装置之间取放,从而实现物料运输和清洗的自动化,而非人为上料取片和全程监控,提高设备智能化,并且可以覆盖大量物料的清洗工作,可以有效削减人工和工时,提升物料清洗效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 清洗 | ||
【主权项】:
1.一种清洗机,其特征在于,所述清洗机包括:清洗装置,用于对物料进行清洗;物料输送装置,设置于所述清洗装置的一侧,能够将物料运送到待抓取位置或从所述待抓取位置移出;预对准装置,在水平方向上,所述预对准装置位于所述物料输送装置与所述清洗装置之间,在竖直方向上,所述预对准装置位于清洗装置的上方,能够限定物料在水平方向上的位置,以使所述物料位于与所述清洗装置在竖直方向上对准的对准位置;水平运动的第一移动机构,设置于所述物料输送装置一侧,能够在水平方向上移动所述物料,以将所述物料在所述待抓取位置与所述对准位置之间移动;竖直运动的第二移动机构,设置于所述清洗装置上方,能够在所述预对准装置与所述清洗装置之间取放所述物料。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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