[发明专利]一种清洗机有效
申请号: | 201711444517.X | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108183080B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 吕超;李长城;孟庆嵩;秦江;崔岳;刘凯;赵婉云 | 申请(专利权)人: | 北京中电科电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100176 北京市经*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 | ||
1.一种清洗机,其特征在于,所述清洗机包括:
清洗装置,用于对物料进行清洗;
物料输送装置,设置于所述清洗装置的一侧,能够将物料运送到待抓取位置或从所述待抓取位置移出;
预对准装置,在水平方向上,所述预对准装置位于所述物料输送装置与所述清洗装置之间,在竖直方向上,所述预对准装置位于清洗装置的上方,能够限定物料在水平方向上的位置,以使所述物料位于与所述清洗装置在竖直方向上对准的对准位置;
水平运动的第一移动机构,设置于所述物料输送装置一侧,能够在水平方向上移动所述物料,以将所述物料在所述待抓取位置与所述对准位置之间移动;
竖直运动的第二移动机构,设置于所述清洗装置上方,能够在所述预对准装置与所述清洗装置之间取放所述物料;
所述预对准装置包括:
相对于所述清洗装置固定的支架,在水平方向上,所述支架位于所述清洗装置与所述物料输送装置之间;
设置于所述支架上的两个导条,两个所述导条沿第一水平方向延伸,并且彼此平行设置,所述物料输送装置位于两个所述导条的一端所在一侧,两个所述导条的另一端延伸至所述清洗装置的上方,且至少一个所述导条能够在所述支架上沿第二水平方向移动,以使两个所述导条相向或相背运动;
以及,设置于所述支架上的驱动器,所述驱动器的驱动端与至少一个所述导条连接,用于驱动至少一个所述导条运动。
2.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述物料输送装置包括:
固定柱,固定设置于所述清洗机的底座上,所述固定柱上设置有沿竖直方向设置的滑轨;
物料运输台,设置于所述固定柱上,所述物料运输台与所述固定柱垂直设置,所述物料运输台的一端通过所述滑轨与所述固定柱可滑动连接。
3.如权利要求1中所述的清洗机,其特征在于,所述支架包括水平设置的主板及与所述主板垂直连接的侧板,所述驱动器固定于所述主板朝向所述清洗装置的一侧,并固定于所述侧板朝向所述清洗装置的一侧,所述导条靠近所述主板的一端设置有开口,所述开口套设在所述主板上。
4.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述导条上设置有沿所述第一水平方向延伸的导轨,用于使所述第一移动机构带动所述物料沿所述导轨运动。
5.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述清洗机包括第一检测器,所述第一检测器设置于所述导条上,用于检测物料在所述导条上的运动状态及位置状态。
6.如权利要求3所述的清洗机,其特征在于,所述清洗机包括第二检测器,所述第二检测器设置于所述侧板朝向所述物料输送装置的侧面上,用于检测所述物料运输台上物料的数量。
7.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述第一移动机构包括:
第一固定臂,固定于所述清洗机的底座上;
第一连接臂,所述第一连接臂的一端与所述第一固定臂连接,所述第一连接臂能够在所述第一固定臂上沿所述第一水平方向运动;
第一机械手,设置于所述第一连接臂上的另一端,并随所述第一连接臂沿所述第一水平方向运动,所述第一机械手位于两根所述导条之间,能够夹持所述物料在两根所述导条的导轨上沿所述第一水平方向运动。
8.如权利要求1所述的清洗机,其特征在于,所述第二移动机构包括:
第二固定臂,固定于所述清洗机的底座上;
第二连接臂,所述第二连接臂与所述第二固定臂相对,所述第二连接臂能够在所述第二固定臂上沿所述竖直方向运动;
第二机械手,设置于所述第二连接臂上靠近所述清洗装置的一端,并随所述第二连接臂沿所述竖直平方向运动,所述第二机械手能够吸附所述物料在所述待抓取位置与所述对准位置之间移动。
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