[发明专利]单片集成半导体结构在审

专利信息
申请号: 201711439435.6 申请日: 2012-04-25
公开(公告)号: CN108346556A 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: B·库纳特 申请(专利权)人: 纳斯普Ⅲ/Ⅴ有限责任公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 邵长准
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及单片集成半导体结构。具体地,本发明涉及一种包含下列层结构的单片集成半导体结构:A)基于掺杂的或未掺杂的Si的载体层,B)任选地具有组成BxAlyGazNtPv的层,C)具有组成BxAly‑GazInuPvSbw的松弛层,D)任选地具有组成BxAlyGazInuPvSbwNt的用于阻断失配位错的层,E)任选地具有组成BxAlyGazInuPvSbwNtAsr的用于异质偏移的层,和F)任意的优选第III/V族的半导体材料或几种不同的任意半导体材料的组合,其中所有第III族元素的上述化学计量指数的总和始终为1,和其中所有第V族元素的上述化学计量指数的总和也始终为1。
搜索关键词: 单片集成半导体结构 半导体材料 化学计量 第III族元素 第V族元素 失配位错 层结构 掺杂的 松弛层 未掺杂 载体层 偏移 异质 优选
【主权项】:
1.单片集成半导体结构,包括下面的层结构;A)基于掺杂的或未掺杂的Si的载体层,B)任选地具有组成BxAlyGazNtPv的层,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,t=0‑0.1和v=0.9‑1,C)具有组成BxAlyGazInuPvSbw的松弛层,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,u=0‑1,v=0‑1和w=0‑1,其中w和/或u在朝向层A)或B)的一侧小于、等于或大于其在背离层A)或B)的一侧,并且在松弛层内可变或恒定不变,其中v=1‑w和/或y=1‑u‑x‑z,D)任选地用于阻挡失配位错的层,其具有组成BxAlyGazInuPvSbwNt,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,u=0‑1,v=0‑1,w=0‑1和t=0‑0.1,E)任选地用于异质偏移的层,其具有组成BxAlyGazInuPvSbwNtAsr,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,u=0‑1,v=0‑1,w=0‑1,t=0‑0.1和r=0‑1,和F)任意的、优选第III/V族的半导体材料或几种不同的任意半导体材料的组合,其中所有第III族元素的上述化学计量指数的总和始终为1,且其中所有第V族元素的上述化学计量指数的总和也始终为1。
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