[发明专利]单片集成半导体结构在审
申请号: | 201711439435.6 | 申请日: | 2012-04-25 |
公开(公告)号: | CN108346556A | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | B·库纳特 | 申请(专利权)人: | 纳斯普Ⅲ/Ⅴ有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 邵长准 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及单片集成半导体结构。具体地,本发明涉及一种包含下列层结构的单片集成半导体结构:A)基于掺杂的或未掺杂的Si的载体层,B)任选地具有组成BxAlyGazNtPv的层,C)具有组成BxAly‑GazInuPvSbw的松弛层,D)任选地具有组成BxAlyGazInuPvSbwNt的用于阻断失配位错的层,E)任选地具有组成BxAlyGazInuPvSbwNtAsr的用于异质偏移的层,和F)任意的优选第III/V族的半导体材料或几种不同的任意半导体材料的组合,其中所有第III族元素的上述化学计量指数的总和始终为1,和其中所有第V族元素的上述化学计量指数的总和也始终为1。 | ||
搜索关键词: | 单片集成半导体结构 半导体材料 化学计量 第III族元素 第V族元素 失配位错 层结构 掺杂的 松弛层 未掺杂 载体层 偏移 异质 优选 | ||
【主权项】:
1.单片集成半导体结构,包括下面的层结构;A)基于掺杂的或未掺杂的Si的载体层,B)任选地具有组成BxAlyGazNtPv的层,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,t=0‑0.1和v=0.9‑1,C)具有组成BxAlyGazInuPvSbw的松弛层,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,u=0‑1,v=0‑1和w=0‑1,其中w和/或u在朝向层A)或B)的一侧小于、等于或大于其在背离层A)或B)的一侧,并且在松弛层内可变或恒定不变,其中v=1‑w和/或y=1‑u‑x‑z,D)任选地用于阻挡失配位错的层,其具有组成BxAlyGazInuPvSbwNt,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,u=0‑1,v=0‑1,w=0‑1和t=0‑0.1,E)任选地用于异质偏移的层,其具有组成BxAlyGazInuPvSbwNtAsr,其中x=0‑0.1,y=0‑1,z=0‑1,u=0‑1,v=0‑1,w=0‑1,t=0‑0.1和r=0‑1,和F)任意的、优选第III/V族的半导体材料或几种不同的任意半导体材料的组合,其中所有第III族元素的上述化学计量指数的总和始终为1,且其中所有第V族元素的上述化学计量指数的总和也始终为1。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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