[发明专利]一种真空泵测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201711410851.3 | 申请日： | 2017-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN108194343B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘坤;迟小宇;雷震霖;于明鹤;毕德龙;张军;郭丽娟;刘永源;杜广煜;巴德纯 | 申请（专利权）人： | 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 110169 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 测试系统 真空室 测试 气体流量 抽气 测量和控制 真空室抽气 测控设备 测试环境 测压系统 抽气设备 供气设备 控温设备 温度可控 性能测试 排气口 吸气口 泵室 可用 连通 供气 测量 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵测试系统，其特征在于，包括第一真空室(3)、第二真空室(1)、第一测压系统(4)、第二测压系统(2)、供气设备(16)、第一抽气设备(18)、第二抽气设备(28)、气体流量测控设备(5)、第一控温设备和第二控温设备；其中，所述第一真空室(3)用于与待测泵室(26)的吸气口连通；所述第二真空室(1)用于与待测泵室(26)的排气口连通；所述供气设备(16)分别与所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)可选择地连通，以可选择地为二者供气；所述第一测压系统(4)和所述第二测压系统(2)分别测量所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)的内部压力；所述第一抽气设备(18)和所述第二抽气设备(28)分别与所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)可选择的连通以分别可选择地从二者中抽气；所述气体流量测控设备(5)对所述第一真空室(3)的气体流量进行测量和控制；所述第一控温设备和所述第二控温设备分别控制所述第一真空室(3)和所述第二真空室(1)的温度。
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