[发明专利]钕铁硼产品表面复合防护方法在审
| 申请号： | 201711404735.0 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN108179382A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 邵敬博;胡元磊 | 申请（专利权）人： | 廊坊京磁精密材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/02;H01F41/18 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 065300 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了钕铁硼产品表面复合防护方法，步骤包括：1)将经过预处理后的钕铁硼基体放入反应室，设置镀膜工艺参数；2)通入氩气作为溅射气体，对Al靶材预射10～20min后，对钕铁硼基体进行镀Al膜；3)Al膜镀完后，对SiC烧结靶靶材预射10～20min后，对钕铁硼基体进行镀SiC膜。采用在SiC薄膜与钕铁硼基体之间添加Al作为缓冲层技术提高膜基结合力，在钕铁硼基体上沉积(SiC/Al)双层膜更加提高其耐蚀性；采用在SiC薄膜与钕铁硼基体之间添加Al作为缓冲层技术提高膜基结合力，SiC/Al双层膜磁性参数中其矫顽力(Hcj)明显增加。 | ||
| 搜索关键词： | 钕铁硼基体 表面复合防护 缓冲层技术 膜基结合力 钕铁硼产品 双层膜 靶材 预处理 磁性参数 镀膜工艺 溅射气体 氩气 反应室 矫顽力 耐蚀性 烧结靶 放入 沉积 | ||
【主权项】：
1.钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，步骤包括：1)将经过预处理后的钕铁硼基体放入反应室，设置镀膜工艺参数；2)通入氩气作为溅射气体，对Al靶材预射10～20min后，对钕铁硼基体进行镀Al膜；3)Al膜镀完后，对SiC烧结靶靶材预射10～20min后，对钕铁硼基体进行镀SiC膜。
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