[发明专利]钕铁硼产品表面复合防护方法

权利要求书

1.钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，步骤包括：

1)将经过预处理后的钕铁硼基体放入反应室，设置镀膜工艺参数；

2)通入氩气作为溅射气体，对Al靶材预射10～20min后，对钕铁硼基体进行镀Al膜；

3)Al膜镀完后，对SiC烧结靶靶材预射10～20min后，对钕铁硼基体进行镀SiC膜。

2.根据权利要求1所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，将反应室抽真空，真空度为6～10Pa。

3.根据权利要求1所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，所述Al靶材直径为60mm，纯度为99.99％。

4.根据权利要求1所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，所述SiC烧结靶直径为60mm，纯度为99.99％。

5.根据权利要求1所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，所述反应室气压为1～3Pa。

6.根据权利要求1所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，所述Al膜的厚度为90～300nm。

7.根据权利要求1所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，所述SiC膜的厚度为100～400nm。

8.根据权利要求1所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，所述预处理的步骤包括：

1)选取40mm*10mm*5mm规格的钕铁硼基体，进行手工磨制、机器抛光；

2)选用浓度为3～5％金属清洗剂对所述钕铁硼基体进行超声清洗60～120s；

3)进行三级逆流水洗，每级水洗5～10s；

4)选取浓度为3～5％的硝酸，进行酸洗60～120s；

5)进行三级逆流水洗，每级水洗5～10s；

6)选用纯水对所述钕铁硼基体进行超声清洗40～100s；

7)选用无水乙醇对所述钕铁硼基体清洗5～10s；

8)冷风吹干。

9.根据权利要求8所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，金属清洗剂超声清洗的步骤包括：

1)将配置好的金属清洗剂倒入超声波清洗槽中，所述金属清洗剂液面高于钕铁硼基体的高度，其中，所述金属清洗液按质量份数包括：二亚乙基三胺1～3份、乳酸钾盐3～5份、酒石酸4～6份、硬脂酸1～1.5份、三聚磷酸钠0.2～0.4份、三乙醇胺0.6～0.8份、苯并三氮唑1.2～1.6份、硫酸钾0.2～0.4份、乙二胺四乙酸钠0.4～0.6份、硅酸钠0.1～0.3份；

2)将所述钕铁硼基体放入超声波清洗槽中洗涤，清洗温度为30～38℃，超声波频率为20～35KHz。

10.根据权利要求8所述的钕铁硼产品表面复合防护方法，其特征在于，对钕铁硼基体表面依次用400目、600目、800目、1000目型号的砂纸由粗到细进行磨制；将磨制后的材料用金刚石研磨膏在旋转的贴有绒布的抛光盘上进行镜面光亮处理。