[发明专利]热电堆红外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711400216.7 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN107990989A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 马清杰;吴多武;许正一 | 申请（专利权）人： | 南京方旭智芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G01J5/08 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市浦口*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种热电堆红外探测器及其制备方法，涉及热电堆红外探测器技术领域。热电堆红外探测器包括经加工硅衬底，在经加工硅衬底上设置的红外吸收层，对经加工硅衬底的中部进行图形化及腐蚀化后形成的开口向下的背腔，背腔内设置有金属反射层。通过经加工硅衬底、金属反射层、红外吸收层围合形成一腔体，腔体即为光学谐振腔。红外线通过透镜聚焦到红外吸收层，到达红外吸收层的红外线与经过金属反射层反射回来的红外线在红外吸收层刚好形成大约1/2光程差，从而形成驻波效应，使得聚焦到热端红外吸收层的红外线尽可能获得吸收。极大提高红外线吸收率，从而增大热电堆红外探测器的响应率和探测率，极大降低热电堆红外探测器的噪声等效温差。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种热电堆红外探测器，其特征在于，包括经加工硅衬底，在所述经加工硅衬底上设置的红外吸收层，对所述经加工硅衬底的中部进行图形化及腐蚀化后形成的开口向下的背腔，所述背腔内设置有金属反射层；通过所述经加工硅衬底、所述金属反射层、所述红外吸收层围合形成一腔体，所述腔体即为光学谐振腔。
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