[发明专利]热电堆红外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种热电堆红外探测器，其特征在于，包括经加工硅衬底，在所述经加工硅衬底上设置的红外吸收层，对所述经加工硅衬底的中部进行图形化及腐蚀化后形成的开口向下的背腔，所述背腔内设置有金属反射层；通过所述经加工硅衬底、所述金属反射层、所述红外吸收层围合形成一腔体，所述腔体即为光学谐振腔。

2.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述光学谐振腔的厚度不小于1μm。

3.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述背腔内沿着所述金属反射层背面设置有支撑层，以支撑所述金属反射层。

4.根据权利要求3所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述支撑层的材料为氧化硅和/或氮化硅。

5.根据权利要求1-4中任一权项所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述红外吸收层上设置有图形化后的两个热电偶第一种材料，所述两个热电偶第一种材料中的每相邻两个热电偶第一种材料之间的间隔距离为预设距离。

6.根据权利要求5所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述两个热电偶第一种材料上和所述红外吸收层上覆盖有隔离膜。

7.根据权利要求6所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述隔离膜与每个热电偶第一种材料的顶部接触面上均设置有两个接触孔，在所述两个接触孔中每相邻两个接触孔及每相邻两个接触孔之间的所述隔离膜的部分隔离膜上均设置有热电堆第二种材料，以形成金属热电堆互联图形。

8.根据权利要求7所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述热电堆第二种材料表面上设置有钝化层。

9.根据权利要求8所述的热电堆红外探测器，其特征在于，所述经加工硅衬底包括：原硅衬底、在所述原硅衬底上设置的第一复合膜的第一复合边缘部和第二复合边缘部、在所述第一复合边缘部上设置的牺牲层的第一牺牲边缘部和在所述第二复合边缘部上设置的所述牺牲层的第二牺牲边缘部。

10.一种热电堆红外探测器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在经加工硅衬底上设置红外吸收层；

对经加工硅衬底的中部进行图形化及腐蚀化，形成开口向下的背腔；

在所述背腔内设置金属反射层，进而通过所述经加工硅衬底、所述金属反射层、所述红外吸收层围合形成一腔体，所述腔体即为光学谐振腔。