[发明专利]共焦测量装置有效
| 申请号： | 201711379516.1 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108571929B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 丸川真理子;早川雅之;奥田贵启;森野久康 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市下京区*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现能够以紧凑的装置结构来扩大测定范围的共焦测量装置。共焦测量装置(1A)的结构包括：衍射透镜(11)，使从白色LED光源(21)出射的光产生色差；衍射透镜(13b)，使通过衍射透镜(11)的光的色差增加；以及接物透镜(12)，聚光于测量对象范围，以使经聚光的光具有沿着光轴的色差。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种共焦测量装置，其利用共焦光学系统，所述共焦测量装置的特征在于包括：光源，出射具有多个波长的光；第1衍射透镜，使从所述光源出射的光产生色差；第2衍射透镜，使通过所述第1衍射透镜的光的色差增加；接物透镜，将通过所述第2衍射透镜的光沿着光轴聚光于测量对象范围，以使经聚光的光具有沿着所述光轴的色差；以及测定部，对经所述接物透镜聚光的光中合焦至测量对象物上的波长的光的强度进行测定。
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