[发明专利]共焦测量装置有效
| 申请号： | 201711379516.1 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108571929B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 丸川真理子;早川雅之;奥田贵启;森野久康 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市下京区*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
1.一种共焦测量装置，其利用共焦光学系统，所述共焦测量装置的特征在于包括：
光源，出射具有多个波长的光；
第1衍射透镜，使从所述光源出射的光产生色差；
第2衍射透镜，使通过所述第1衍射透镜的光的色差增加；
接物透镜，将通过所述第2衍射透镜的光沿着光轴聚光于测量对象范围，以使经聚光的光具有沿着所述光轴的色差；
测定部，对经所述接物透镜聚光的光中合焦至测量对象物上的波长的光的强度进行测定；以及
使光发散的第1发散光学部，在所述第1衍射透镜的接物透镜侧。
2.根据权利要求1所述的共焦测量装置，其特征在于，
入射至所述接物透镜的光经准直。
3.根据权利要求1或2所述的共焦测量装置，其特征在于，
使光发散的所述第1发散光学部在所述接物透镜的光源侧。
4.根据权利要求3所述的共焦测量装置，其特征在于，
所述第1发散光学部具有至少一个凹透镜。
5.根据权利要求3所述的共焦测量装置，其特征在于，
当以负值来表达发散系统的焦距时，满足f1+f2＝d，其中所述第2衍射透镜的焦距为f1，所述第1发散光学部的焦距为f2，且所述第2衍射透镜与所述第1发散光学部之间的距离为d。
6.根据权利要求3所述的共焦测量装置，其特征在于，
所述第1发散光学部是配置于所述第1衍射透镜与所述第2衍射透镜之间，
光在所述第2衍射透镜与所述接物透镜之间经准直。
7.根据权利要求1或2所述的共焦测量装置，其特征在于，
所述第1衍射透镜的焦距与所述第2衍射透镜的焦距相同。
8.根据权利要求1或2所述的共焦测量装置，其特征在于，
所述第1衍射透镜的焦距与所述第2衍射透镜的焦距不同。
9.根据权利要求3所述的共焦测量装置，其特征在于还包括，
使光的色差增加的第3衍射透镜以及使光发散第2发散光学部，在所述第1衍射透镜与所述接物透镜之间。
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