[发明专利]用于微机电系统(MEMS)装置的弯曲联接器有效
| 申请号： | 201711370871.2 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108204807B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | I·P·普里霍德科;J·A·格雷戈里 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/34 | 分类号： | G01C19/34 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张小稳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及用于微机电系统(MEMS)装置的弯曲联接器。微机械惯性装置呈现为具有通过联接器耦合在一起的多个线性移动质量块，当耦合的质量块呈现线性反相运动时，联接器以线性方式移动。一些所述的联接器是弯曲的，并提供了耦合的质量块的两个运动自由度。一些这样的联接器位于耦合的质量块之间。在耦合的质量块的线性反相运动期间，使用布置成在线性相反方向上移动的多个联接器提供动量平衡操作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 系统 mems 装置 弯曲 联接器 | ||
【主权项】：
1.具有多个耦合的质量块的微机电系统(MEMS)装置，包括：第一和第二检测质量块，均配置为线性移动；和联接器，将所述第一和第二检测质量块耦合在一起并配置为当所述第一和第二检测质量块以线性反相运动移动时线性移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美国亚德诺半导体公司，未经美国亚德诺半导体公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711370871.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：同步质量块陀螺仪
- 下一篇：地图匹配装置、地图匹配方法以及计算机程序产品
