[发明专利]一种化学气相沉积或外延层生长反应器及其内的旋转轴有效
| 申请号： | 201711339249.5 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN109957835B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 郑振宇;何乃明 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 周荣芳 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学气相沉积或外延层生长反应器及其内的旋转轴，所述旋转轴用以支撑石墨托盘并带动其旋转，所述石墨托盘的下表面设置一凹陷部，其中，所述旋转轴包括：主轴部；一凸起部，沿所述主轴部向所述石墨托盘方向延伸一高度，所述凸起部可分离地插接于所述凹陷部；一支撑部，所述支撑部设置在所述主轴部靠近所述石墨托盘的一端，包括一支撑面，所述支撑面与所述石墨托盘的下表面接触，实现对所述石墨托盘的支撑；所述支撑面与所述凸起部的外表面为钨或钨合金材质。钨或钨合金比钼或钼合金的渗碳温度要高出许多，因而与石墨更难发生渗碳。故而在旋转轴与石墨托盘所接触的位置选择钨或钨合金材料，可以大大延长旋转轴的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 外延 生长 反应器 其内 旋转轴 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学气相沉积或外延层生长反应器内的旋转轴，用以支撑石墨托盘并带动其旋转，所述石墨托盘的下表面设置一凹陷部，其特征在于，所述旋转轴包括：主轴部；一凸起部，沿所述主轴部向所述石墨托盘方向延伸一高度，所述凸起部可分离地插接于所述凹陷部；一支撑部，所述支撑部设置在所述主轴部靠近所述石墨托盘的一端，包括一支撑面，所述支撑面与所述石墨托盘的下表面接触，实现对所述石墨托盘的支撑；所述支撑面与所述凸起部的外表面为钨或钨合金材质。
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