[发明专利]多晶硅棒自动拆卸装置有效
申请号: | 201711334784.1 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN108098752B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 岳洪;白金;姜喆;张佳乐;刘昊;张兆东;王明明;徐健斌;李金柱 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨博实自动化股份有限公司 |
主分类号: | B25J9/10 | 分类号: | B25J9/10;B25J9/16;B25J15/00 |
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地址: | 150078 黑龙江省*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种多晶硅棒自动拆卸装置,它包括轨道(1)、X轴T型移动架(2)、三自由度小车(3)、悬挂机构(4)、翻转机构(5)、抓手机构(6)、硅棒检测系统(7)、电气控制系统(8),其中X轴T型移动架(2)可沿轨道(1)和地面在X轴方向移动,X轴T型移动架(2)的横梁(22)侧面设有三自由度小车(3),三自由度小车(3)所设的旋转轴336下端与悬挂机构(4)连接,悬挂机构(4)的下端与翻转机构(5)铰接,翻转机构(5)的侧面与抓手机构(6)连接,抓手机构(6)上设有硅棒检测系统(7),X轴T型移动架(2)上还设有电气控制系统(8)。本发明能够适应特殊生长姿态的多晶硅棒,实现拆棒操作的完全自动化,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 自动 拆卸 装置 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅棒自动拆卸装置,它包括悬挂机构(4)、翻转机构(5)、抓手机构(6),其中悬挂机构(4)的下端与翻转机构(5)铰接,翻转机构(5)的侧面与抓手机构(6)连接,抓手机构(6)所设机械手(63)可抓紧倒U型硅棒(B)的两条臂,翻转机构(5)和抓手机构(6)可绕R轴旋转90度,其特征在于:它还包括轨道(1)、X轴T型移动架(2)、三自由度小车(3)、硅棒检测系统(7)、电气控制系统(8),轨道(1)设置在还原炉(A)的侧上方,X轴T型移动架(2)横跨在还原炉(A)的上方,X轴T型移动架(2)可沿轨道(1)和地面在X轴方向移动,X轴T型移动架(2)的横梁(22)侧面设有三自由度小车(3),三自由度小车(3)可沿横梁(22)作Y轴移动,三自由度小车(3)还具有Z轴升降和W轴旋转两个自由度,三自由度小车(3)所设的旋转轴(336)下端与悬挂机构(4)连接,悬挂机构(4)的下端设有扇形齿轮(46),所述抓手机构(6)上设有硅棒检测系统(7),硅棒检测系统(7)可检测倒U型硅棒(B)的位置及形态,X轴T型移动架(2)上还设有电气控制系统(8),电气控制系统(8)根据硅棒检测系统(7)反馈的检测结果而控制多晶硅棒自动拆卸装置自动完成拆棒操作。
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