[发明专利]多晶硅棒自动拆卸装置

说明书

一种多晶硅棒自动拆卸装置，它包括轨道（1）、X轴T型移动架（2）、三自由度小车（3）、悬挂机构（4）、翻转机构（5）、抓手机构（6）、硅棒检测系统（7）、电气控制系统（8），其中X轴T型移动架（2）可沿轨道（1）和地面在X轴方向移动，X轴T型移动架（2）的横梁（22）侧面设有三自由度小车（3），三自由度小车（3）所设的旋转轴336下端与悬挂机构（4）连接，悬挂机构（4）的下端与翻转机构（5）铰接，翻转机构（5）的侧面与抓手机构（6）连接，抓手机构（6）上设有硅棒检测系统（7），X轴T型移动架（2）上还设有电气控制系统（8）。本发明能够适应特殊生长姿态的多晶硅棒，实现拆棒操作的完全自动化，提高生产效率。

技术领域

本发明涉及一种多晶硅棒自动拆卸装置，属于高纯多晶硅生产设备领域。

背景技术

高纯多晶硅是一种用于电子工业和太阳能光伏产业的常用基础原料，还原炉内生成的倒U型多晶硅棒都采用机械臂进行辅助拆棒，所采用的机械臂结构简单实用，但只能实现手动操作，自动化程度较低，专利文献CN205928720U中公开了一种硅棒用机械臂，采用该机械臂，能够安全、快捷地拆卸大型还原炉中的蜂窝状和同心圆状炉型的硅棒，提高了多晶硅棒的拆炉效率，提高了自动化程度，但其机械臂与实际使用工况仍存在一些不匹配的现象，比如，在拆棒过程中不能检测硅棒的实际形状，夹具不能适应一些特殊生长姿态的多晶硅棒，夹具的下翻高度可调幅度小，无法实现完全自动化拆棒等。

发明内容

为了能够适应特殊生长姿态的多晶硅棒，实现拆棒操作的完全自动化，提高生产效率，本发明提出了一种多晶硅棒自动拆卸装置，它包括轨道1、X轴T型移动架2、三自由度小车3、悬挂机构4、翻转机构5、抓手机构6、硅棒检测系统7、电气控制系统8，其中轨道1设置在还原炉A的侧上方，X轴T型移动架2横跨在还原炉A的上方，X轴T型移动架2可沿轨道1和地面在X轴方向移动，X轴T型移动架2的横梁22侧面设有三自由度小车3，三自由度小车3可沿横梁22作Y轴移动，三自由度小车3还具有Z轴升降和W轴旋转两个自由度，三自由度小车3所设的旋转轴336下端与悬挂机构4连接，悬挂机构4的下端与翻转机构5铰接，翻转机构5的侧面与抓手机构6连接，抓手机构6所设机械手63可抓紧倒U型硅棒B的两条臂，翻转机构5和抓手机构6可绕R轴旋转90度，抓手机构6上设有硅棒检测系统7，硅棒检测系统7可检测倒U型硅棒B的位置及形态，X轴T型移动架2上还设有电气控制系统8，电气控制系统8根据硅棒检测系统7反馈的检测结果而控制多晶硅棒自动拆卸装置自动完成拆棒操作。

所述X轴T型移动架2包括横梁22和立柱24，横梁22的右端设有X轴上端移动机构21，横梁22上还设有Y轴驱动机构23，立柱24的下端设有X轴下端移动机构25。

所述三自由度小车3包括Y轴移动架31，Y轴移动架31内侧设有Z轴外升降架32，Z轴外升降架32上设有Z轴内升降架33。

所述Y轴移动架31包括Y轴架体311，Y轴架体311的上端与Y轴驱动机构23连接，Y轴架体311的前侧设有Y轴滚轮组314，Y轴滚轮组314可沿横梁22滚动，Y轴架体311的后侧设有Z轴外架滚轮组315，Y轴架体311的上端还设有卷升电机312，卷升电机312的输出轴与卷升带313的一端连接，卷升带313的另一端固定在卷升电机312下方的Y轴架体311上，卷升带313的上下两端之间形成U型折弯，Z轴外升降架32悬挂在所述U型折弯上。

所述Z轴外升降架32包括框形外架体321，外架体321的外侧可沿Z轴外架滚轮组315上下移动，外架体321的内侧上端设有定滑轮组322，升降带323绕在定滑轮组322上，升降带323的一端与位于外架体321下部的Y轴移动架31连接，升降带323的另一端与位于外架体321上部的Z轴内升降架33连接，外架体321的下端设有滚轮324，滚轮324悬挂在卷升带313上下两端形成的U型折弯上。