[发明专利]多晶硅棒自动拆卸装置

权利要求书

1.一种多晶硅棒自动拆卸装置，它包括悬挂机构(4)、翻转机构(5)、抓手机构(6)，其中悬挂机构(4)的下端与翻转机构(5)铰接，翻转机构(5)的侧面与抓手机构(6)连接，抓手机构(6)所设机械手(63)能够抓紧倒U型硅棒(B)的两条臂，翻转机构(5)和抓手机构(6)能够绕R轴旋转90度，其特征在于：它还包括轨道(1)、X轴T型移动架(2)、三自由度小车(3)、硅棒检测系统(7)、电气控制系统(8)，轨道(1)设置在还原炉(A)的侧上方，X轴T型移动架(2)横跨在还原炉(A)的上方，X轴T型移动架(2)沿轨道(1)和地面在X轴方向移动，X轴T型移动架(2)的横梁(22)侧面设有三自由度小车(3)，三自由度小车(3)沿横梁(22)作Y轴移动，三自由度小车(3)还具有Z轴升降和W轴旋转两个自由度，三自由度小车(3)所设的由W轴旋转电机(334)驱动的旋转轴(336)下端与悬挂机构(4)连接，悬挂机构(4)的上端一侧设有能够升降和开合的扶持夹板(45)，悬挂机构(4)的下端设有扇形齿轮(46)，所述翻转机构(5)设有由翻转电机(52)驱动的与扇形齿轮(46)啮合的翻转齿轮(54)，所述机械手(63)设有定位电机(631)和一对硅棒夹板(638)，定位电机(631)驱动张开的一对硅棒夹板(638)横向移动，所述抓手机构(6)上设有硅棒检测系统(7)，硅棒检测系统(7)能够检测倒U型硅棒(B)的位置及形态，X轴T型移动架(2)上还设有电气控制系统(8)，电气控制系统(8)根据硅棒检测系统(7)反馈的检测结果而控制多晶硅棒自动拆卸装置自动完成拆棒操作。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅棒自动拆卸装置，其特征在于：X轴T型移动架(2)包括横梁(22)和立柱(24)，横梁(22)的右端设有X轴上端移动机构(21)，横梁(22)上还设有Y轴驱动机构(23)，立柱(24)的下端设有X轴下端移动机构(25)。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅棒自动拆卸装置，其特征在于：三自由度小车(3)包括Y轴移动架(31)，Y轴移动架(31)内侧设有Z轴外升降架(32)，Z轴外升降架(32)上设有Z轴内升降架(33)。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅棒自动拆卸装置，其特征在于：Y轴移动架(31)包括Y轴架体(311)，Y轴架体(311)的前侧设有Y轴滚轮组(314)，Y轴滚轮组(314)沿横梁(22)滚动，Y轴架体(311)的后侧设有Z轴外架滚轮组(315)，Z轴外升降架(32)沿Z轴外架滚轮组(315)上下移动，Y轴架体(311)的上端还设有卷升电机(312)，卷升电机(312)的输出轴与卷升带(313)的一端连接，卷升带(313)的另一端固定在卷升电机(312)下方的Y轴架体(311)上，卷升带(313)的上下两端之间形成U型折弯，Z轴外升降架(32)悬挂在所述U型折弯上。

5.根据权利要求3所述的一种多晶硅棒自动拆卸装置，其特征在于：Z轴外升降架(32)包括框形外架体(321)，外架体(321)的内侧上端设有定滑轮组(322)，升降带(323)绕在定滑轮组(322)上，升降带(323)的一端与位于外架体(321)下部的Y轴移动架(31)连接，升降带(323)的另一端与位于外架体(321)上部的Z轴内升降架(33)连接，外架体(321)的下端设有滚轮(324)。

6.根据权利要求3所述的一种多晶硅棒自动拆卸装置，其特征在于：Z轴内升降架(33)包括内架体(331)，内架体(331)的左右两侧设有Z轴内架滚轮组(332)，Z轴内架滚轮组(332)沿Z轴外升降架(32)的内侧上下滚动，内架体(331)的后侧设有固定筒(333)，固定筒(333)的内部设有旋转轴(336)，固定筒(333)的上端设有W轴旋转电机(334)，W轴旋转电机(334)通过传动带(335)驱动旋转轴(336)转动。