[发明专利]装配式定电极的电容压力传感器有效
| 申请号： | 201711325860.2 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN107843379B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 孙晓茜;段磊;段祥照 | 申请（专利权）人： | 沈阳市传感技术研究所 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L9/00 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 | 代理人： | 刁佩德 |
| 地址： | 110015 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种装配式定电极的电容压力传感器，解决了现有电容压力传感器的配件多，陶瓷绝缘体内气体容易附着，影响真空度，非线性大，动电极形变与定电极面形不匹配等问题。其蓝宝石单晶制作的定电极绝缘体利用弹性定位器固定支撑在带盖夹持压环空腔内居中位置，采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极，有依托的压接在定电极绝缘体底部的环形平面与带引压口的支座的环形平面之间，通过三波镀金压簧施压，使双面镀贵金属层的薄膜动电极与定电极绝缘体之间紧密接触。其结构简单，设计合理，制作容易，生产效率高，使用可靠，长时间不用调零点，减少了吸气量、放气量，使漏率大大降低，真空度可以长久得到保持，显著提高测量的稳定性和测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 装配式 电极 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
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