[发明专利]装配式定电极的电容压力传感器有效

专利信息
申请号: 201711325860.2 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN107843379B 公开(公告)日: 2023-09-22
发明(设计)人: 孙晓茜;段磊;段祥照 申请(专利权)人: 沈阳市传感技术研究所
主分类号: G01L9/12 分类号: G01L9/12;G01L9/00
代理公司: 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 代理人: 刁佩德
地址: 110015 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 装配式 电极 电容 压力传感器
【权利要求书】:

1.一种装配式定电极的电容压力传感器,包括外壳和带引压口的支座,组装在外壳内的定电极绝缘体和密封电极以及动电极,其特征在于:所述外壳采用带盖夹持压环,动电极采用恒弹性金属制作的双面镀贵金属层的薄膜动电极;蓝宝石单晶制作的定电极绝缘体上部的金属化导孔周边设置有环形欧姆接触导电层,定电极绝缘体底部的抛物凹面外周设置有依托动电极的环形平面,定电极绝缘体的抛物凹面的表面镀有导电膜层,导电膜层通过定电极绝缘体的金属化导孔与上部的欧姆接触导电层相连通,导电膜层表面覆盖有绝缘膜层;带引压口的支座上表面设置与定电极绝缘体底部相对称结构的抛物凹面和依托动电极的环形平面,将双面镀贵金属层的薄膜动电极压接封装在带盖夹持压环和带引压口的支座之间,定电极绝缘体通过插接在柱体竖向凹槽内的弹性定位器固定支撑在带盖夹持压环空腔内,使定电极绝缘体始终保持居中位置,以蓝宝石绝缘子钎焊在带盖夹持压环上方的密封电极,利用镀金锥形弹簧与定电极绝缘体上部的欧姆接触导电层相连通;定电极绝缘体上部与带盖夹持压环的上盖底部之间设置有三波镀金压簧,通过三波镀金压簧施压,把定电极绝缘体束缚在带盖夹持压环空腔内,并使双面镀贵金属层的薄膜动电极有依托的压接在定电极绝缘体底部的环形平面与带引压口的支座的环形平面之间。

2.根据权利要求1所述的装配式定电极的电容压力传感器,其特征在于:所述弹性定位器为选用可塑形变材料制成的端部带有斜截面的短管。

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