[发明专利]一种背照式图像传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种背照式图像传感器及其制备方法，包括M个像素单元，每个像素单元包括微透镜、彩色滤光片、感光衬底和布线衬底，所述感光衬底位于布线衬底的上方，所述感光衬底中包括光电二极管以及环绕光电二极管的深沟槽隔离，所述深沟槽隔离的底部与光电二极管的底部平行，且所述深沟槽隔离中填充光屏蔽层；所述彩色滤光片位于感光衬底的上方，所述微透镜覆盖于彩色滤光片的上方且位于光电二极管的垂直上方。本发明可以很好地避免相邻像素之间的串扰，并且精确控制光电二极管与微透镜之间的关系，提高背照式图像传感器的入射率以及光电转换效率。

主权项

1.一种背照式图像传感器，包括M个像素单元，每个像素单元包括微透镜、彩色滤光片、感光衬底和布线衬底，其特征在于，所述感光衬底位于布线衬底的上方，所述感光衬底中包括光电二极管以及环绕光电二极管的深沟槽隔离，所述深沟槽隔离的底部与光电二极管的底部平行，且所述深沟槽隔离中填充光屏蔽层；所述彩色滤光片位于感光衬底的上方，所述微透镜覆盖于彩色滤光片的上方且位于光电二极管的垂直上方，其中，M为大于等于1的整数。