[发明专利]用于剥离工艺的剥离液机台及其工作方法有效
| 申请号： | 201711279770.4 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108054119B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 欧甜;苏长义 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;刘巍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于剥离工艺的剥离液机台及其工作方法。该用于剥离工艺的剥离液机台包括：多级顺序排列的多个腔室、与所述多个腔室对应连接的多个存储箱、与所述多个存储箱对应连接的多个过滤器，所述过滤器还与下一级腔室连接，所述存储箱内设有离心过滤装置。本发明还提供了相应的工作方法。本发明用于剥离工艺的剥离液机台及其工作方法设计了一种适用于剥离工艺的改进的剥离液机台及工作方法，解决剥离制程传统剥离液机台过滤器的堵塞问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 剥离 工艺 机台 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于剥离工艺的剥离液机台，其特征在于，包括：多级顺序排列的多个腔室、与所述多个腔室对应连接的多个存储箱、与所述多个存储箱对应连接的多个过滤器，所述过滤器还与下一级腔室连接，所述存储箱内设有离心过滤装置，其中：所述多个腔室用于按照处于剥离制程的玻璃基板的传送方向逐级向玻璃基板提供剥离液；所述存储箱用于收集和存储来自腔室的经历剥离制程的剥离液；所述过滤器用于过滤来自存储箱的剥离液并且输送给下一级腔室；所述离心过滤装置用于将存储箱内剥离液中的薄膜碎屑与剥离液分离并过滤掉。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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