[发明专利]用于剥离工艺的剥离液机台及其工作方法

权利要求书

1.一种用于剥离工艺的剥离液机台，其特征在于，包括：多级顺序排列的多个腔室、与所述多个腔室对应连接的多个存储箱、与所述多个存储箱对应连接的多个过滤器，所述过滤器还与下一级腔室连接，所述存储箱内设有离心过滤装置，其中：

所述多个腔室用于按照处于剥离制程的玻璃基板的传送方向逐级向玻璃基板提供剥离液；

所述存储箱用于收集和存储来自腔室的经历剥离制程的剥离液；

所述过滤器用于过滤来自存储箱的剥离液并且输送给下一级腔室；

所述离心过滤装置用于将存储箱内剥离液中的薄膜碎屑与剥离液分离并过滤掉；

所述离心过滤装置为过滤型转鼓。

2.如权利要求1所述的用于剥离工艺的剥离液机台，其特征在于，所述离心过滤装置设置于存储箱内部的中央。

3.如权利要求1所述的用于剥离工艺的剥离液机台，其特征在于，所述过滤型转鼓的圆周壁上有孔。

4.如权利要求1所述的用于剥离工艺的剥离液机台，其特征在于，所述过滤型转鼓的圆周壁的内壁设有过滤介质，用于过滤薄膜碎屑。

5.如权利要求4所述的用于剥离工艺的剥离液机台，其特征在于，所述过滤介质为滤网或滤布。

6.如权利要求1所述的用于剥离工艺的剥离液机台，其特征在于，所述薄膜碎屑产生于TFT制程中。

7.一种用于剥离工艺的剥离液机台的工作方法，其特征在于，包括：

步骤100、将多级腔室顺序排列，按照处于剥离制程的玻璃基板的传送方向逐级向玻璃基板提供剥离液；

步骤200、将来自于当前级腔室经历剥离制程的剥离液收集和存储于当前级腔室相应的存储箱中；

步骤300、使用相应的离心过滤装置将当前级腔室的存储箱内剥离液中的薄膜碎屑与剥离液分离并过滤掉；

步骤400、使用当前级腔室相应的过滤器过滤来自当前级腔室的存储箱的剥离液并且输送给下一级腔室；

所述离心过滤装置为过滤型转鼓。

8.如权利要求7所述的用于剥离工艺的剥离液机台的工作方法，其特征在于，所述过滤型转鼓的圆周壁的内壁设有过滤介质，用于过滤薄膜碎屑。