[发明专利]微流体流量计及其制作方法有效
| 申请号： | 201711259530.8 | 申请日： | 2017-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109870205B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 刘德盟;关一民;张华 | 申请（专利权）人： | 上海傲睿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/696 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明还提供一种微流体流量计及其制作方法，包括：半导体衬底，具有第一温度传感器、第二温度传感器、加热单元及信号处理电路，其中，第一温度传感器与第二温度传感器设置于加热单元两侧；微通道，通过第一温度传感器、加热单元及第二温度传感器；以及空腔，形成于半导体衬底背面且与加热单元位置对应。本发明可以实现微流控系统的微流体流量的片上检测，实现传感器、信号处理电路以及微流道的全集成设计，增加了微流控芯片的集成度。本发明的微流体流量计可以完成微流道流体流向和流速的测量，空腔可以防止热量通过硅衬底流失，增加流速检测的灵敏度。本发明采用共模负反馈的电路结构设计增加传感器的一致性，并降低噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 流量计 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种微流体流量计的制作方法，其特征在于，所述微流体流量计的制作方法包括：1)提供一半导体衬底，基于CMOS工艺于所述半导体衬底中制作第一温度传感器、第二温度传感器、加热单元及信号处理电路，其中，所述第一温度传感器与所述第二温度传感器设置于所述加热单元两侧；2)基于MEMS工艺制作通过所述第一温度传感器、所述加热单元及所述第二温度传感器的微通道；以及3)于半导体衬底背面刻蚀出与所述加热单元位置对应的空腔，以降低所述加热单元的热量损失。
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