[发明专利]一种基板旋转装置以及基板对位方法有效
| 申请号： | 201711228325.5 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN107889365B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 宋卫华;成斌;何凤雷 | 申请（专利权）人： | 南京协辰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 吴黎 |
| 地址： | 211106 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基板旋转装置，其包括：基座；工作平台，所述工作平台用于支撑基板；所述基座的顶面与所述工作平台的底面之间设置有至少一个驱动所述工作平台运动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动机构和引导机构；所述引导机构包括引导所述工作平台在水平面内移动的直线引导机构和支撑旋转机构，所述支撑旋转机构连接所述直线引导机构与所述工作平台，通过所述驱动装置的组合使用控制所述工作平台进行直线平移和/或转动和/或转动偏移。本发明提供的基板旋转装置，降低了结构复杂性，同时也提高了生产效率和控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 装置 以及 对位 方法 | ||
【主权项】：
一种基板旋转装置，其包括：基座；工作平台，所述工作平台用于支撑基板；所述基座的顶面与所述工作平台的底面之间设置有至少一个驱动所述工作平台运动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动机构和与之连接的引导机构；其特征在于：所述引导机构包括引导所述工作平台在水平面内移动的直线引导机构和支撑旋转机构，所述支撑旋转机构连接所述直线引导机构与所述工作平台，通过所述驱动装置的组合使用控制所述工作平台进行直线平移和/或转动和/或转动偏移。
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