[发明专利]一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统在审
| 申请号： | 201711220668.7 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108100991A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 马高印;邢朝洋;梅崴;刘福民;庄海涵;张树伟 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统，涉及芯片设计领域。所述芯片质量检测方法，包括：发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。本发明可全自动完成整个晶圆上所有芯片的连续测试，极大地提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描测试 芯片 晶圆 质量检测 电阻 空气流量计 装置及系统 上芯片 发送 测试控制指令 电阻测试装置 获取并存储 测试效率 连续测试 扫描信息 芯片设计 移动控制 预设路径 整个晶圆 比对 预设 指令 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，包括：发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。
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