[发明专利]脆性材料基板的断开方法以及断开装置

摘要

本发明涉及一种脆性材料基板的断开方法以及断开装置，将脆性材料基板保持于切割环，防止承载在工作台上时基板的弯曲。在粘贴于切割环(31)的粘着带(32)上保持蓝宝石基板(30)。在断开装置的玻璃工作台(12)上设置弹性支承板(40)，在其上方固定切割环(31)。通过使辊(22)对蓝宝石基板(30)推压并使其相对移动，使蓝宝石基板(30)紧贴在弹性支承板(40)上。接着，用监视摄像机识别划线，从划线的正上方使断开杆下降，分离脆性材料基板。

主权项

一种脆性材料基板的断开方法，其特征在于，包括：使形成有划线的脆性材料基板粘着保持在由框状体保持的粘着带上；在透明的工作台上一体地保持透明的弹性支承板；所述脆性材料基板与所述框状体一起保持在所述弹性支承板上；通过使辊在保持在所述框状体上的所述脆性材料基板的上侧滚动，使所述脆性材料基板紧贴在所述弹性支承板上；使用监视摄像机检测与所述弹性支承板紧贴的所述脆性材料基板的划线；以及通过使断开杆沿使用所述监视摄像机检测到的所述划线从所述脆性材料基板的上侧下降，从而沿所述划线断开所述脆性材料基板。