[发明专利]具有转动单元的辊对辊制造系统

摘要

具有转动单元的辊对辊制造系统。在该辊对辊制造系统中，设置有多个沉积单元，并且在沉积单元之间设置有转动单元。该沉积单元包括：其上缠绕有膜的沉积鼓；以及一个或多个蒸发器，其被设置为面对沉积鼓，并且被配置为沉积缠绕在沉积鼓上的膜。该转动单元包括多个转动辊，并且被配置为转动从一个沉积单元输出的膜、引导膜并将膜提供给另一个沉积单元。

主权项

一种辊对辊制造系统，该辊对辊制造系统包括：提供膜的膜提供辊；收集所述膜的膜收集辊；多个沉积单元，所述多个沉积单元位于所述膜提供辊与所述膜收集辊之间，并在所述膜上形成沉积材料；以及转动单元，所述转动单元位于所述沉积单元之间，并转动来自所述沉积单元的所述膜的沉积表面，使得所述膜的所述沉积表面不与所述辊接触。