[发明专利]一种柔性基板及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性基板及其制备方法，其中所述制备方法包括：将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除所述柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，所述进行固化成型的温度与所述进行真空干燥的温度相匹配。通过上述方式，本发明能够有效避免玻璃基板出现弯曲、翘曲等现象。

主权项

1.一种柔性基板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：/n将玻璃基板进行清洗，所述清洗的过程至少包括紫外光处理、毛刷清洗、药液清洗以及二流体清洗，在清洗结束后，经风刀干燥系统以进行干燥处理；/n对柔性衬底材料进行脱泡处理，其中，脱泡处理的时间范围为12-24h；/n将柔性衬底材料涂布至玻璃基板上；其中，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺，所述聚酰亚胺湿膜的厚度范围为200-300μm；/n将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，包括：对涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行两次抽真空，其中，第一次的抽气速率小于第二次的抽气速率，第一次的时间为20-100s，第二次的时间为400-600s，所述进行真空干燥的温度范围为50-80℃，压力为小于或等于50pa，以去除所述柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；/n所述进行干燥后，去除的所述柔性衬底材料湿膜中的溶剂的体积分数为50-90％；真空干燥后的聚酰亚胺薄膜的厚度与聚酰亚胺湿膜的厚度之间的比例范围为1.5-2:1；/n将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，所述进行固化成型的温度与所述进行真空干燥的温度相匹配，所述进行固化成型的温度范围是50-80℃。/n